litografia elektronowa

NB5

Zaawansowany system do litografii elektronowej

System litografii elektronowej nBto urządzenie generujące wzory metodą skanowania wektorowego przy użyciu wiązki okrągłej. System nB5 dzięki innowacyjnej i nowoczesnej optyce wiązki elektronów, w połączeniu z automatyką jest idealnym rozwiązaniem przeznaczonym zarówno do badań jak i produkcji. Systemy do litografii elektronowej (EBL) firmy Nanobeam oferują wysoką rozdzielczość, możliwość zastosowania w różnorodnych procesach i materiałach oraz charakteryzują się wysoką przepustowością, niskimi kosztami eksploatacji i wyjątkową niezawodnością.


PROFIL WIĄZKI O WYSOKIEJ ROZDZIELCZOŚCI – MINIMALNE ROZPRASZANIE BOCZNE


KONSTRUKCJA URZĄDZENIA – TECHNOLOGIE NOWEJ GENERACJI

  • Zredukowana automatyka / robotyka
  • Mniejsze zniekształcenia komory
  • Najszybszy system litografii elektronowej na rynku – utworzenie 2 milionów punktów w 110 sekund na powierzchni 4mm2
  • Wyjątkowa prędkość pracy – <100ms przy ruchu stolika o 500 μm
  • Tworzenie wzorów na całej powierzchni podłoża o średnicy 200 mm
  • Zaawansowany system redukcji i kontroli wibracji mechanicznych (system zainstalowany m.in. na 6 piętrze Uniwersytetu Columbia)
  • Interferometryczny system kontroli pozycji i wibracji stolika
  • Dokładny system pomiaru wysokości podłoża
  • Automatyczny podajnik na 6 podłoży

ZAAWANSOWANA ELEKTRONIKA

  • Przetwornik DAC 20bit
  • Prędkość zapisu 55 MHz z zastosowaniem niskoszumowej technologii Nanobeam
  •  Czas zerowania wiązki (blanking) <5 ns
  • Szumy pochodzące z elektroniki < 2 ppm
  • Kontrola dawki wiązki – 0.5Hz rozdzielczość, ciągła kontrola podczas procesu

NISKIE KOSZTY ZAKUPU I EKSPLOATACJI

  • Niskie koszty zakupu
  • Niskie koszty wymiany działa elektronowego
  • Niskie wymagania dotyczące instalacji – klasa czystości V
  • Wysoka odporność na pole rozproszenia – < 600nT
  • Wysoka odporność na wahania temperatury – < 0.3°C
  • Zużycie energii < 3kW
  • Odporność na awarie systemów peryferyjnych (sprężone powietrze, zasilanie)
  • Niezawodność – ponad 98% czasu bezawaryjnej pracy przy wykorzystaniu urządzenia 24h/dobę 7 dni w tygodniu
  •  GWARANCJA – 5 LAT