mask aligner

MDA-60MS

Mask aligner

Półautomatyczny mask aligner do pracy z podłożami o średnicy do 8"

Mask aligner model MDA-60MS zaprojektowany został w szczególności do użytku przez jednostki badawcze. Wysoka dokładność systemów MDA-60MS pozwala uzyskiwać bardzo dobre wyniki podczas pracy zarówno z małymi podłożami jak i waflami o średnicy do 8″.

Podstawowe cechy urządzenia:

  • automatyczne poziomowanie masek i podłoży
  • manualny załadunek, rozładunek oraz wyrównanie
  • wielkość podłoży do 8”
  • wielkość masek do 9” x 9”
  • źródło światła UV 1000W
  • zakres długości fal: 350nm – 450nm
  • podwójny mikroskop CCD
  • dostępne tryby pracy: kontakt próżniowy, kontakt twardy, kontakt miękki, kontakt zbliżeniowy
  • rozdzielczość zależnie od trybu pracy do 1µm.