spin coater powlekacz obrotowy

SPIN 200i

Powlekacz obrotowy (spin coater) dla podłoży o średnicy do 260 mm

Spin coater model SPIN200i jest przeznaczony do procesów czyszczenia, suszenia, powlekania, wywoływania i/lub trawienia podłoży o średnicy do 260 mm.
Konstrukcja spin coatera zapewnia z jednej strony łatwość utrzymania czystości procesu, a z drugiej gwarantuje bardzo długą żywotność urządzenia pomimo kontaktu z agresywną chemią dzięki wyeliminowaniu jakichkolwiek metalowych elementów podatnych na korozję.
Oferowany spin coater wykonany jest w całości z tworzywa sztucznego – z polipropylenu lub teflonu.

  • Nablatowy model do ręcznego lub opcjonalnie zautomatyzowanego dozowania odczynników
  • System wykonany w całości z naturalnego polipropylenu (NPP) (opcjonalnie z PTFE)
  • Przezroczysta pokrywa z uchwytem strzykawki do centralnego dozowania
  • Elektromagnetyczna blokada pokrywy
  • Złącze odłączanego kontrolera do łatwej integracji z glovebox
  • Dyfuzor N2 do płukania azotem w trakcie prowadzonego procesu
  • Łatwe programowanie receptur krok po kroku za pomocą dużego, kolorowego ekranu dotykowego
  • 3 programowalne styki bezpotencjałowe: np. do zautomatyzowanej kontroli jednostki dozującej, dyfuzora azotu itd.
  • Strukturyzowana, chroniona hasłem pamięć receptur do łatwego i bezpiecznego zarządzania
  • Cyfrowe sterowanie silnika oparte na sprzężeniu zwrotnym sygnału przyrostu prędkości
  • Nieograniczona pamięć programów dla receptur obejmujących wiele kroków

 

Możliwość ustawienia następujących parametrów procesu

Ilość programów użytkownika Nieograniczona
Ilość kroków na program Nieograniczona
Prędkość 0–12 000 obr./min
Czas 0,1-99 999 s/krok
Prędkość 0–12 000 obr./min
Kierunek obrotów (CW, CCW, puddling)
Przyspieszanie/spowalnianie 1-30 000 obr./min / s**
Próżnia wł. / wył.
ZESTAW ZAWIERA
standardowy uchwyt próżniowy A-V36-S45-PP, Ø45 mm do wafli o średnicy do 8“
D-V10-S50-PP, adapter do małych fragmentów, do elementów i fragmentów o średnicy ½“ do 2’’ (opcjonalnie dostępne uchwyty na inne podłoża)
Przyłącze spustowe 1” męskie NPT (wąż spustowy dostępny opcjonalnie)

Uchwyty dla różnych typów podłoży:

  • Fragmenty podłoży
  • Niski kontakt
  • Podłoża kwadratowe Maski, ogniwa słoneczne, itp. – Chipy, płytki, fragmenty itd.
  • Podłoża zwykłe – Szkiełka laboratoryjne etc,
  • Podłoża okrągłe – Uchwyty próżniowe dla podłoży od 2“ do 300 mm
  • Podłoża okrągłe – Uchwyty próżniowe z pinami centrującymi
  • Podłoża okrągłe – Uchwyty mechaniczne z pinami centrującymi


Zestaw wkładek ochronnych do
misy i wieka powlekacza

wkładki do powlekacza


Uchwyt na strzykawki z centralnym układem dozującym, do strzykawek pojedynczych lub potrójnych ze zintegrowanym dyfuzorem N2

uchwyt dozujący


Zestaw startowy strzykawek składający się z pięciu cylindrów do
dozowania chemikaliów o objętości 30 cm³, igieł i pistonów

zestaw strzykawkowy


System dozowania PERFORMUS X
Do instalacji w uchwycie strzykawkowym i sterowany przez trzy złącza bezstykowe

dozowanie powlekacza


Narzędzie do centrowania podłoży.
Jedno narzędzie przeznaczone do centrowania podłoży o rozmiarach
od 2″ do 6″ oraz kwadratowych podłoży do 4×4″

narzędzie centrujące


Karbowany wąż spustowy ze złączem

wąż karbowany


Pompa próżniowa

pompa próżniowa