Jak polepszyć jednorodność nakładanych warstw podczas pokrywania powierzchni prostokątnych lub kwadratowych z użyciem spin coater?

Cóż, trzy podstawowe problemy, z jakimi możecie Państwo się zmierzyć, gdy podłoża mają kształt prostokątny lub kwadratowy jest efekt “edge beads”, efekt geometryczny oraz efekt Bernoulli. Występowanie powyższych efektów powodować może znaczne pogorszenie jakości otrzymywanych warstw. Jednakże możecie mieć Państwo wpływ na jednorodność otrzymywanych powłok poprzez zmianę prędkości wirowania. Im niższa jest prędkość wirowania, tym słabsze jest podciśnienie wytworzone przez efekty Bernoulliego, tak więc bardziej jednolita będzie otrzymana powłoka. Niestety, polepszenie jednorodności powoduje także pogrubienie krawędzi (efekt “edge beads”) oraz otrzymanie grubszej warstwy.

Opracowanie

Badanie przeprowadzone przez Gregory Luurtsema z Wydziału Elektrotechniki i Informatyki Uniwersytetu Kalifornijskiego w Berkeley (kliknij tutaj, aby zapoznać się z badaniami) dowodzi, że najlepszym sposobem polepszenia jednorodności powłoki na kwadratowym podłożu jest użycie  uchwytu lub nośnika z zagłębieniem, płyty barierowej oraz oczywiście zmniejszonej prędkości wirowania. Dzięki zastosowaniu spin coatera wyposażonego w zarówno uchwyt wgłębny podłoży, jak i płyty barierowej, narastanie warstwy na krawędziach czołowych można zmniejszyć aż o 125%. Głównie (90%) efekt spowodowany jest użyciem uchwytu z zagłębieniem na podłoże, a kolejne 35% możliwe jest do uzyskania poprzez użycie płyty barierowej, która powinna być zainstalowana w odległości ok. 3 mm – 12 mm nad podłożem.

Spin coater z serii SPIN150i może zostać doposażony w tego typu uchwyty dostosowane do wielkości Państwa podłóż.

Zachęcamy do kontaktu z nami celem uzyskania szczegółowych informacji.

Więcej na temat spin coatera SPIN150i……