automatyczny elipsometr

Automatyczne mapowanie warstw

Elipsometr

Automatyczne mapowanie warstw

Automatyczne mapowanie warstw na podłożach

Połączenie wielozakresowego elipsometru FS-1EX™  z kompaktowym zautomatyzowanym stolikiem do szybkiego, dokładnego i rzetelnego pomiaru jednorodności grubości warstw na całym podłożu

  • 6 Długości fali (405, 450, 525, 660, 850, 950 nm) z długo-żywotnym źródłem LED i detektorem bez części ruchomych
  • Dokładne pomiary grubości warstw dla większości materiałów w zakresie 0 – 5 μm
  • Typowa powtarzalność grubości: 0.015 nm
  • Typical thin film thickness repeatability: 0.015 nm
  • Zintegrowane elementy ogniskujące: standardowa wielkość ogniska 0.8 x 1.9 mm (dostępne) inne wielkości
  • Zmotoryzowany stolik w osi Z do automatycznego ustawienia podłoża
  • Elastyczny edytor wzorców skanowania
  • Wykresy konturowe i 3D mierzonych parametrów

  FS-RT300

  • Typowy czas pomiaru grubości: 90 sekund (49 punktów na podłożu o średnicy 300 mm)
  • Kompaktowe wymiary: 400×500 mm, 22 kg
  • Zakres przesuwu stolika: R (lliniowy) 150 mm, rozdzielczość: 12 μm Theta (rotacja) 360°, rozdzielczość: 0.1°

FS-XY150

  • Typowy czas pomiaru grubości: 60 sekund (49 punktów na podłożu o średnicy 150 mm)
  • Kompaktowe wymiary: 600×600 mm, 16 kg
  • Zakres przesuwu stolika (X,Y): 150 x 150 mm, rozdzielczość: 5 μm

Oprogramowanie Film Sense pozyskuje i analizuje dane elipsometryczne oraz podaje parametry warstwy – grubość, współczynnik załamania światła itp. Oprogramowanie Film Sense jest zintegrowane z urządzeniem i jest obsługiwane za pomocą interfejsu w standardowej przeglądarce internetowej . Każdy komputer stacjonarny, laptop lub tablet, posiadający zainstalowaną nowoczesną przeglądarkę internetową (Windows, Mac OS X, Linux, iOS, Android) może obsługiwać elipsometr Film Sense za pomocą połączenia Ethernet (nie jest wymagany dostęp do Internetu lub sieci). Główną zaletą interfejsu przeglądarki internetowej jest to, że nie jest wymagana instalacja oprogramowania, co znacznie upraszcza konfigurację i obsługę elipsometrów Film Sense.

Funkcje oprogramowania

  • Tryby analizy danych: standardowy, wielowarstwowy in situ, wielopróbkowy, trajektoria i blisko powierzchni.
  • Do 10 warstw modelu z opcjonalną chropowatością powierzchni i korektą spodniej strony podłoża.
  • Zakresy parametrów i przyrosty początkowe w celu poprawy zbieżności parametrów dopasowania.
  • Średnie efektywne przybliżenie Bruggemana dla materiałów mieszanych i warstw z gradientowym profilem współczynnika załamania.
  • Modele dyspersji Cauchy’ego, Sellmeiera, Lorentza, Drude’a, Tauca-Lorentza i Multi-Osc.
  • Pliki biblioteki stałych optycznych zależne od temperatury lub składu.
  • Dane dotyczące depolaryzacji lub intensywności transmisji można łączyć z analizą danych z wielu długości fali.
  • Symulacja pojedynczego pomiaru lub danych dynamicznych i wykreślanie różnic dopasowania względem wartości parametru.