FR-pOrtable

Kompaktowy reflektometr optyczny z zakresem pomiaru grubości warstw w zakresie 12nm - 90μm

FR-pOrtable to unikalne rozwiązanie do dokładnej i precyzyjnej nieniszczącej charakterystyki przezroczystych i półprzezroczystych pojedynczych warstw pojedynczych lub stosu filmów.
FR-pOrtable może wykonywać pomiary współczynnika odbicia i transmitancji w zakresie widmowym 370-1020 nm.

Kompaktowa konstrukcja FR-pOrtable gwarantuje wysoką dokładność i powtarzalność pomiarów.

Urządzenie może być zamontowane na dostarczonym stoliku lub może być używane jako mobilne, ręczne narzędzie pomiaru grubości i charakteryzacji warstw w terenie.

FR-pOrtable wykonuje pomiary współczynnika odbicia, transmitancji, absorbancji oraz koloru.

Zakres pomiaru grubości 12nm – 90 μm
Obliczenie współczynnika załamania światła TAK (>100nm)
Dokładność pomiaru grubości warstwy 0.05nm lub 1‰
Wielkość podłoża 1mm do 300mm
Zakres spektralny 370-1020nm
Odległość robocza 3-20mm
Wielkość plamki 1.0-4.0mm
Żywotność lampy 20.000h
Jednocześnie mierzona ilość warstw 5
Czas pomiaru 5 msec

PRZYKŁADOWE WYNIKI 

2462.9nm TEOS na podłożu Si (współczynnik załamania światła)

110nm PMMA na podłożu Si

84nm TiO2 na szkiełku mikroskopowym

10nm Si3N4 na podłożu Si