reflektometr optyczny

FR-pRo

Modułowy reflektometr optyczny z zakresem pomiaru grubości warstw w zakresie 1nm - 5mm

FR-pRo to  modułowa seria przyrządów pomiarowych, dostosowanych do potrzeb klienta i używanych w szerokim zakresie różnorodnych zastosowań, takich jak standardowe pomiary absorbancji / transmitancji i odbicia, do charakteryzacji warstw w kontrolowanych warunkach temperatury i otoczenia.

FR-pRo składają się z następujących modułów:

  • Jednostka główna
  • Moduły i zestawy z listy akcesoriów (więcej w zakładce Akcesoria)
    • Uchwyt na podłoże / kuwety do pomiarów absorbancji / transmitancji i pomiarów stężeń
    • Zestaw do pomiarów grubości warstw do charakteryzacji warstw
    • Zestaw do pomiarów w kontrolowanych warunkach temperatury
    • Kule całkujące do pomiarów całkowitej i dyfuzyjnej reflektancji
    • Moduł ogniskujący do zmniejszenia plamki do < 100μm
    • Celki przepływowe do pomiarów absorbancji i fluorescencji w cieczach
    • Szeroka podstawa do pomiarów podłoży o średnicy 300 mm
    • Zmotoryzowany stolik do wykonywania zautomatyzowanych pomiarów w odbiciu i transmisji
    • Ręczny stolik X-Y do pozycjonowania próbek o wielkości 100 x 100 mm

Jednostka Główna

Jednostka główna zawiera zminiaturyzowany wysokiej jakości spektrometr, odpowiednie źródło światła i wszystkie niezbędne moduły elektroniczne (źródła zasilania i sterowniki).
Źródło światła zapewnia wysoką stabilność widma emisyjnego, kontrolowane programowo natężenie światła i bardzo długi czas pracy.
Obudowa jednostki głównej jest wykonana z wysokiej jakości przemysłowego anodowanego aluminium, oferując solidną i modułową konstrukcję.

Górna pokrywa jednostki głównej to optyczna płyta z nawierconymi gwintami M6 (lub ¼ ”) i wielkości 340 mm x 200 mm. Płyta ta służy jako uchwyt próbki, aparatu pomiarowego i standardowych złączy SMA-905 dla światłowodów przenoszących światło ze źródła światła i do spektrometru.

Jednostka główna jest dostępna w wielu konfiguracjach w zakresie długości fal 200–2500 nm i może być dalej dostosowywana do określonych potrzeb  Standardowe konfiguracje są przedstawione na poniższej tabeli oraz ilustracji:

 

NAZWA ZAKRES SPEKTRALNY ZAKRES POMIARU
FR-pRo-D UV/NIR 190nm-1700nm 1nm-250μm
FR-pRo VIS/NIR 380nm-1000nm 12nm – 100μm
FR-pRo RED/NIR 600nm – 1040nm 200nm – 250μm
FR-pRo UV/NIR-HR 190nm – 1100nm 1nm – 120μm
FR-pRo UV/NIR-EXT 190nm – 1000nm 3nm – 80μm
FR-pRo-D UV/NIR 190nm-1700nm 1nm-250μm

 


PRZYKŁADOWE WYNIKI 

Warstwa SiO2 o grubości 1 nm na podłożu Si

Fotorezyst SU-8 o grubości 14,3 um na podłożu krzemowym