reflektometr optyczny pomiar grubości warstw

FR-Scanner

Kompaktowy reflektometr optyczny do zautomatyzowanych pomiarów grubości warstw i współczynnika załamania światła w odbiciu i transmisji

    Ta strona jest chroniona przez reCAPTCHA oraz Google Polityka Prywatności | Warunki użytkowania.

    FR-Scanner to kompaktowe nablatowe narzędzie przeznaczone do szybkiego i dokładnego mapowania warstw pod względem grubości, współczynnika załamania światła, jednorodności i  koloru na dużych podłożach.

    Typowe skanowanie podłoża Si o średnicy 8 ” w 625 punktach zajmuje mniej niż 60 sekund.

    Głowica optyczna zawiera spektrometr, hybrydowe źródło światła i wszystkie inne części optyczne. W tej konstrukcji nie ma żadnych zginających i ruchomych włókien, dlatego gwarantowana jest doskonała wydajność pod względem dokładności, powtarzalności i stabilności.
    Ponadto specjalna konstrukcja źródła światła zapewnia ekstremalnie długą żywotność, 10000 godzin.

    Na uchwycie próżniowym można umieścić płytki o dowolnej średnicy i kształcie.

    Dzięki solidnej i unikalnej konstrukcji optycznej i mechanicznej FR-Scanner skanuje podłoża z bardzo dużą prędkością, obracając stolik i przesuwając liniowo głowicę optyczną  (skanowanie biegunowe).
    W ten sposób w bardzo krótkim czasie rejestrowane są dane  o wysokiej powtarzalności, dzięki czemu skaner FR-Scanner jest idealnym narzędziem do charakteryzacji podłoży lub innych podłoży w przemyśle.
    Ponadto kartezjańskie modele skanowania można łączyć z zestawem transmitancji i obsługiwać zarówno pomiary współczynnika odbicia, jak i transmitancji. W trybie transmitancji obsługiwane są również pomiary grubości warstw i współczynnika załamania światła
    (np. dla płytek kwarcowych lub przezroczystych).

    Specyfikacja

    Wielkość podłoża 2in-3in-4in-6in-8in-300mm-450mm
    Wielkość plamki 360μm
    Minimalna grubość do jednoczesnego określenia grubości i współczynnika załamania światła 100nm
    Zakres spektralny 370nm - 1020nm
    Prędkość skanowania 625 punktów / min / podłoże 8''