reflektometr optyczny pomiar grubości warstw

FR-Scanner

Kompaktowy reflektometr optyczny do zautomatyzowanych pomiarów grubości warstw i współczynnika załamania światła w odbiciu i transmisji

FR-Scanner to kompaktowe nablatowe narzędzie przeznaczone do szybkiego i dokładnego mapowania warstw pod względem grubości, współczynnika załamania światła, jednorodności i  koloru na dużych podłożach.

Typowe skanowanie podłoża Si o średnicy 8 ” w 625 punktach zajmuje mniej niż 60 sekund.

Głowica optyczna zawiera spektrometr, hybrydowe źródło światła i wszystkie inne części optyczne. W tej konstrukcji nie ma żadnych zginających i ruchomych włókien, dlatego gwarantowana jest doskonała wydajność pod względem dokładności, powtarzalności i stabilności.
Ponadto specjalna konstrukcja źródła światła zapewnia ekstremalnie długą żywotność, 10000 godzin.

Na uchwycie próżniowym można umieścić płytki o dowolnej średnicy i kształcie.

Dzięki solidnej i unikalnej konstrukcji optycznej i mechanicznej FR-Scanner skanuje podłoża z bardzo dużą prędkością, obracając stolik i przesuwając liniowo głowicę optyczną  (skanowanie biegunowe).
W ten sposób w bardzo krótkim czasie rejestrowane są dane  o wysokiej powtarzalności, dzięki czemu skaner FR-Scanner jest idealnym narzędziem do charakteryzacji podłoży lub innych podłoży w przemyśle.
Ponadto kartezjańskie modele skanowania można łączyć z zestawem transmitancji i obsługiwać zarówno pomiary współczynnika odbicia, jak i transmitancji. W trybie transmitancji obsługiwane są również pomiary grubości warstw i współczynnika załamania światła
(np. dla płytek kwarcowych lub przezroczystych).

Specyfikacja

Wielkość podłoża 2in-3in-4in-6in-8in-300mm-450mm
Wielkość plamki 360μm
Minimalna grubość do jednoczesnego określenia grubości i współczynnika załamania światła 100nm
Zakres spektralny 370nm - 1020nm
Prędkość skanowania 625 punktów / min / podłoże 8''