Filtr gazów TEM-900

Filtry serii TEM-900 są zaprojektowane do filtracji gazów czystych stosowanych w przemyśle półprzewodnikowym dla przepływów dochodzących do 30 l/min. Materiał: PTFE

Filtry serii TEM-900 są specjalnie zaprojektowane do filtracji ultra czystych krytycznych gazów w miejscach poboru stosowanych w przemyśle półprzewodnikowym, gdy wymagane są przepływy nie większe niż 30 l/min. .

Filtry gazów z serii TEM-900 wykonane są z dwóch membran teflonowych zamkniętych w obudowie wykonanej ze stali 316L.  Filtry z tej serii zapewniają absolutną filtrację dla cząstek 0,003 mikrona. Dzięki zastosowaniu podwójnej membrany PTFE uzyskano najwyższą możliwą filtrację oraz zabezpieczenie przed pęknięciem membrany w przypadku przepływu zwrotnego gazu.

Dane techniczne:

  • Materiał: Poly Pro/ PTFE
  • Przepływ: 0-30 l / min
  • Sprawność 99.9999999% @0.003 mikrona
  • Maksymalne ciśnienie robocze przy 250°F – 3000 psig
  • 100% testowana integralność
  • Testowana szczelność 1 x 10 -9 cc/sek
  • Dwie Membrany PTFE
Grupa Typ materiału Seria filtru
1 PTFE & Polypro 100, 200, 300, 400, 500, 800
2 PTFE 900, 1900, 1800, 1500, 1400, 1200, 1100
3 Stal nierdzewna 1700, 817125, 717125
4 Nikiel 3700, 837125, 737125

Kompatybilność gazów:

Gaz Grupa Gaz Grupa
Powietrze 1,2,3,4 Hydrogen Chloride (HCl) 1,2,4
Amoniak (NH3) 1,2,3,4 Hydrogen Fluoride (HF) 2,4
Argon (Ar) 1,2,3,4 Hydrogen Sulfide (H2S) 1,2,3,4
Arsine (AsH3) 1,2,3,4 Neon (Ne) 1,2,3,4
Boron Trichloride (BCl3) 1,2,4 Nitrogen (N2) 1,2,3,4
Boron Trifluoride (BF3) 1,2,4 Nitrogen Trifluoride (NF3) 2,3,4
Carbon Monoxide (CO) 1,2,3 Nitrous Oxide (N2O) 1,2,3,4
Carbon Dioxide (CO2) 1,2,3,4 Oxygen (O2) 1,2,3,4
Carbon Tetrachloride (CCl4) 2,3,4 Ozone (O3) 2
Carbon Tetrafluoride (CF4) 2,3,4 Phosphine (PH3) 1,2,3,4
Chlorine (Cl2) 2,4 Phosphorous Trifluoride (PF3) 1,2,4
Chlorine Trifluoride (ClF3) 2,4 Phosphorous Pentachloride (PCl5) 1,2,3,4
Diborane (B2H6) 1,2,3,4 Phosphorous Pentafluoride (PF5) 2,3,4
Dichlorosilane (SiH2Cl2) 2,4 Silane (SiH4) 1,2,3,4
Hexafluoroethane (C2F6) 2,3,4 Silicon Tetrachloride (SiCl4) 1,2,4
Halocarbon 13 (CClF3) 1,2,3,4 Silicon Tetrafluoride (SiF4) 1,2,4
Halocarbon 14 (CF4) 1,2,3,4 Sulfur Hexafluoride (SF6) 1,2,3,4
Halocarbon 23 (CHF3) 1,2,3,4 Tetraethyl Orthosilicate (TEOS) 1,2,3,4
Halocarbon 115 (C2ClF5) 1,2,3,4 Trichlorosilane (SiHCl3) 1,2,4
Halocarbon 116 (C2F6) 1,2,3,4 Trimethyl Borane ((CH3)3B) 1,2,3,4
Germane (GeH4) 1,2,3,4 Trimethyl Phosphate ((CH3)3PO4) 1,2,3,4
Helium (He) 1,2,3,4 Tungsten Hexafluoride (WF6) 2,4
Hydrogen (H2) 1,2,3,4 Xenon (Xe) 1,2,3,4
Hydrogen Bromide (HBr) 1,2,4

Odpowiedniki produktów Pall:

Numer kat. Pall Numer kat. TEM
GLFF1000BW4
TEM-17750-P
GLFF1000VMM4
TEM-1775
GLFF1100BW4
TEM-17750-P
GLFF1100VFM4
TEM-1773-P
GLFF1100VMM4
TEM-1775
GLFF1102BW4
TEM-17750-PD
GLFF1102VFM4
TEM-1773-PD
GLFF1102VMM4
TEM-1775-D
GLFF2200BW4
TEM-17750-P
GLFF2200VMM4
TEM-1775
GLFN1100VMM4
TEM-3775
GLFN1100BW4
TEM-37750-P
GLFN1102VMM4
TEM-3775D
GLFN1102BW4
TEM-37750-PD
GLFN4400VMM4
TEM-3715D
GLFN4400VFM4
TEM-3713-MD
GLFN4400VMF4
TEM-3712-MD
GLFN4400VMM8
TEM-3715-8D
GLFN4400BW4
TEM-3750-PD
GLFPF3000MFC9
TEM-915-MFCP
GLFPF3000SM4
TEM-911
GLFPF3000VFM4
TEM-913-P
GLFPF30000VMF4
TEM-912-P
GLFPF30000VMM4
TEM-915
GLFPF3000V04
TEM-925-P
GLFPF3101BW4
TEM-950-P
GLFPF3101VFM4
TEM-913-P
GLFPF3101VMF4
TEM-912-P
GLFPF3101VMM4
TEM-915
GLFPF3102VMM4
TEM-915-D
GLFPF3111VMM8
TEM-1745-8P
GLFF4000BW4
TEM-1750-P
GLFF4000SM4
TEM-1711
GLFF4000VMM8
TEM-1715-6P
GLFF4000VM4
TEM-1715
GLFF4400BW4
TEM-1750-PD
GLFF4400VMM4
TEM-1715-D
GLFF5500BW4
TEM-17450-P
GLFF5500BW8
TEM-17450-8P
GLFF5500VMM4
TEM-1745-P
GLFF5500VMM8
TEM-1745-8P
GLFF5502VMM4
TEM-1745-PD
GLFF5502VMM8
TEM-1745-8PD
GLFF5502BW4
TEM-1750-PD
GLFF5502BW8
TEM-1750-8PD
GLFF6601VMM8
TEM-1795-8PD
GLFF6602VMM8
1795-8PD
GLFPF6101SM6
TEM-1811-6P
GLFPF6101SM4
TEM-1811-P
GLFPF6101VM4
TEM-1815-P
GLFPF6402BW4
TEM-1850-P *
GLFPF6402BW6
TEM-1850-6P *
GLFPF6402BW8
TEM-1850-8P *
* TEM Product is 2in. Dia.
GLFPF8101BW8
TEM-1550-8P
GLFPF8101VMM8
TEM-1515-8P
GLFPF8202BW8
TEM-1550-8P
GLFPF8202VMM8
TEM-1515-8P
GLFPF9101VMM8
TEM-1415-8p
GLFPF9101VMM12
TEM-1450-12P
GLFPF9202BW8
TEM-1450-8P
GLFPF9202VMM8
TEM-1415-8P
GLFPF9202BW8
1550-8P
GLFPF9202BW12
TEM-1550-12P
GLFPF9202VMM8
TEM-1515-8P
GLF6101FP4
TEM-828-P
GLF6101SM4S
TEM-811-P
GLF6101SM6S
TEM-811-6P
GLF6101VM4
TEM-815-P
GLF6101VM6/8
TEM-815-6/8P
GLF8101VMM8
TEM-515-8P
GLF8202VMM8
TEM-515-8P
GLF9101VMM8
TEM-415-8P
GLF9202VMM8
TEM-415-8P
GLFN1100BW4
TEM-37750-P
GLFN1100VMM4
TEM-3775
GLFN1102BW4
TEM-37750-PD
GLFN1102VMM4
TEM-3775D
SGLFF5500VMM4
TEM-1745-P
SGLFF5500VMM8
TEM-1745-8P
SGLFF5502VMM4
TEM-1745-PD
SGLFF5502VMM8
TEM-1745-8PD
SGLFN3600VMM4
TEM-3715
SGLFN3602VMM4
TEM-13715D
SGLFPF6101SM4S
TEM-811-M or TEM-1811-M
SGLFPF6101SM6S
TEM-811-6M or TEM-1811-6M
SGLFPF6101VMM4
TEM-815-P or TEM-1815-M
SGLFPF6101VMM68
TEM-815-6P or TEM-1815-6M
SGLFPF6402VMM4
TEM-815-PS or TEM-1815-PS
SGLFPF6402VMM68
TEM-815-6PS or TEM-1815-6PS
SGLF6101SM4S
TEM-811-M
SGLF6101SM6S
TEM-811-6M
SGLF6101VM4
TEM-815-MS
SGLF6101VM4M
TEM-815-M
SGLF6101VM6/8M
TEM-815-6M
SILPF1111BW24
TEM-1250-24P
SILPF1112BW16
TEM-1250-16P
SILPF1212BW16
TEM-1150-16P
SILPF1212BW24
TEM-1150-24P
SIL1101BW16
TEM-250-16P
SIL1112BW24
TEM-250-24P
SIL1212BW16
TEM-150-16P
SIL1212BW24
TEM-150-24P

Odpowiedniki produktów Millpore/Mykrolis:

Numer kat. Millpore/Mykrolis Numer kat. TEM
WGFG01HC1
TEM-925
WGFG01HS1
TEM-911
WGFG01HR1
TEM-915
WGFG02PR1
TEM-1915
WGFG02PR4
TEM-1915-6
WGFG06WR1
TEM-815-M
WGFG06WC1
TEM-825-M
WGFG32PR1
TEM-1915-6
WGFG32PS1
TEM-1911-6
WGFG36WC1
TEM-825-6M
WGFG36WR1
TEM-815-6M
WGFG36WS1
TEM-811-6M
WGFG40JJ4
TEM-450-8
WGFG40JJ6
TEM-450-12
WGFG40RR3
TEM-415-6
WGGB06WB1
TEM-828-M
WGGB06WR1
TEM-815-M
WGGB06WS1
TEM-811-M
WGGB36WC1
TEM-825-6M
WGGB36WR1
TEM-815-6M
WGGB36WS1
TEM-811-6M
WGMXMBRR2
TEM-815-MS
WGMXMBRR4
TEM-815-6/8MS
WGMXMBSS2
TEM-811-MS
WGMXMBSS3
TEM-811-6MS
WGMXMBSS4
TEM-811-8MS
WGMXMSRR2
TEM-815-MS
WGMXMSRR4
TEM-815-6/8MS
WGMXMSBW2
TEM-850-MS
WGMXMSBW3
TEM-850-6MS
WGMXMSBW4
TEM-850-8MS
WG2FTBW2
TEM-950
WG2FTIJJ2
TEM-950
WG2FTIRR2
TEM-915
WG2F02JJ2
TEM-1950
WG2F02JJ4
TEM-1950-8
WG2F02PR1
TEM-1915
WG2F02PS1
TEM-1911
WG2F02RR2
TEM-1915
WG2F06WC1
TEM-825-M
WG2F06WR1
TEM-815-M
WG2F06WS1
TEM-811-M
WG2F26WR1
TEM-815-6M
WG2F32PR1
TEM-1915-6
WG2F36WC1
TEM-825-6M
WG2F36WR1
TEM-815-6M
WG2F36WS1
TEM-811-6M
WG2F40RR3
TEM-415-6M
WG3NS5RR2
TEM-3775
WG3NSMFF2
TEM-3774-M
WG3NSMFR2
TEM-3773-M
WG3NSMJJ2
TEM-37750-M
WG3NSMRF2
TEM-3772-M
WG3NSMSL2
TEM-3775-M
WG3NSMSR2
TEM-3775-MS
WG3NS1RR2
TEM-3715
WG3NS2RR2
TEM-3745-M
WG3NS2RR4
TEM-3745-6M
WG3NS3FF2
TEM-3773-MS
WG3NS3FR2
TEM-3773-M
WG3NS3JJ2
TEM-37750-MS
WG3NS3RF2
TEM-3772-M
WG3NS3SR2
TEM-3775-M
WG3NS4JJ2
TEM-3750-M
WG3NS4RR2
TEM-3715-M
WG3NS6RR2
TEM-3775
WG3NS6SL2
TEM-3775-MS
WG3NS7SL2
TEM-3715

Odpowiedniki produktów Mott:

Numer kat. Mott Numer kat. TEM
GSP-15
TEM-37750-MO
GSP-3752
TEM-3775
GSP-375
TEM-3715
GSP-575
TEM-3715-MO
POU-015-SV1
TEM-1715-MO
POU-015ST1
TEM-1750-MO
POU-05-NSV1
TEM-3775
POU-05-NST1
TEM-37750
POU-05-SV1
TEM-1775
POU-05-ST1
TEM-17750-MO
POU-10-ST1
TEM-17450-MO
POU-10-ST2
TEM-17450-6MO
POU-10-SV1
TEM-1745-MO
POU-10-SV3
TEM-1745-6MO
POU-3-NSV1
TEM-3715
POU-3-ST1
TEM-1750-MO
POU-3-SV1
TEM-1715
POU-30-SV3
TEM-1785-MO

Pytanie o produkt

W razie pytań lub wątpliwości prosimy o kierowanie ich do nas za pośrednictwem tego formularza

  • 2 + 15 =