Spin coater – POLOS series

Seria zautomatyzowanych zaawansowanych powlekaczy obrotowych.

Category:

Nowej generacji powlekacze obrotowe wykonane z naturalnego polipropylenu lub teflonu.

Wszystkie powlekacze obrotowe POLOS dla pojedynczych podłoży wykonane są w całości z wysokiej jakości tworzywa sztucznego. Znajdują swoje zastosowanie w działach badawczo-rozwojowych oraz w produkcji półprzewodników, MEMS, ogniw solarnych czy urządzeń mikro-przepływowych. Powlekacze obrotowe POLOS doskonale nadają się do wszystkich typowych procesów czyszczenia, płukania/suszenia, powlekania, wywoływania. Różne modele sprawdzają się od lat w obróbce całej gamy podłoży, począwszy od małych fragmentów po wafle o średnicy do 450 mm. Oferujemy także jednostki do płaskich kwadratowych paneli o wymiarach do 1000 mm.

Zapraszamy do zapoznania się z naszą ofertą:

Podstawowe cechy powlekacza obrotowego POLOS200 ADVANCED
Seria Advanced umożliwia użycie dodatkowego opcjonalnego przewodu do dozowania chemikaliów Pozwala na zainstalowanie do sześciu dysz natryskowych programowalnych niezależnie
System wykonany w całości z naturalnego polipropylenu (NPP) (opcjonalnie z PTFE)
Maksymalna wielkość podłoży: okrągłe o średnicy do 260 mm, kwadratowe do 6″ x 6″
Nablatowy model do ręcznego lub opcjonalnie zautomatyzowanego dozowania odczynników
Złącze odłączanego kontrolera do łatwej integracji z glovebox
Łatwe programowanie receptur krok po kroku za pomocą dużego, kolorowego ekranu dotykowego.
Nieograniczona pamięć programów dla receptur obejmujących wiele kroków, dla każdego:
Czas 0,1-99 999 s/krok
Prędkość 0–12 000 obr./min **
Kierunek obrotów (CW, CCW, puddling)
Przyspieszanie/spowalnianie 1-30 000 obr./min / s**
Próżnia wł./wył
3 programowalne styki bezpotencjałowe: np. do zautomatyzowanej kontroli jednostki dozującej, dyfuzora azotu itd.
Z opcjonalnym modułem IO do 16 weiść cyfrowych, 16 wyjść cyfrowych, 4 analogowych wejść i 4 analogowych wyjść
Strukturyzowana, chroniona hasłem pamięć receptur do łatwego i bezpiecznego zarządzania
Cyfrowe sterowanie silnika oparte na sprzężeniu zwrotnym sygnału przyrostu prędkości

 

Zestaw zawiera:
standardowy uchwyt próżniowy A-V36-S45-PP, Ø45 mm do wafli o średnicy do 6“
D-V10-S50-PP, adapter do małych fragmentów, do elementów i fragmentów o średnicy ½“ do 2’’ (opcjonalnie dostępne uchwyty na inne podłoża)
Przyłącze spustowe 1” męskie NPT (wąż spustowy dostępny opcjonalnie)

** Mierzone bez podłoża, mogą obowiązywać ograniczenia w zależności od specyfikacji

Seria Advanced umożliwia użycie dodatkowego opcjonalnego przewodu do dozowania chemikaliów Pozwala na zainstalowanie do sześciu dysz natryskowych programowalnych niezależnie.

Podstawowe cechy powlekacza obrotowego POLOS300 ADVANCED
System wykonany w całości z naturalnego polipropylenu (NPP) (opcjonalnie z PTFE)
Maksymalna wielkość podłoży: okrągłe o średnicy do 360 mm, kwadratowe do 8″ x 8″
Nablatowy model do ręcznego lub opcjonalnie zautomatyzowanego dozowania odczynników
Złącze odłączanego kontrolera do łatwej integracji z glovebox
Łatwe programowanie receptur krok po kroku za pomocą dużego, kolorowego ekranu dotykowego.
Nieograniczona pamięć programów dla receptur obejmujących wiele kroków, dla każdego:
Czas 0,1-99 999 s/krok
Prędkość 0–10 000 obr./min **
Kierunek obrotów (CW, CCW)
Przyspieszanie/spowalnianie 1-30 000 obr./min / s**
Próżnia wł./wył
3 programowalne styki bezpotencjałowe: np. do zautomatyzowanej kontroli jednostki dozującej, dyfuzora azotu itd.
Z opcjonalnym modułem IO do 16 weiść cyfrowych, 16 wyjść cyfrowych, 4 analogowych wejść i 4 analogowych wyjść
Strukturyzowana, chroniona hasłem pamięć receptur do łatwego i bezpiecznego zarządzania
Cyfrowe sterowanie silnika oparte na sprzężeniu zwrotnym sygnału przyrostu prędkości

 

Zestaw zawiera:
standardowy uchwyt próżniowy A-V36-S45-PP, Ø45 mm do wafli o średnicy do 6“
D-V10-S50-PP, adapter do małych fragmentów, do elementów i fragmentów o średnicy ½“ do 2’’ (opcjonalnie dostępne uchwyty na inne podłoża)
Przyłącze spustowe 1” męskie NPT (wąż spustowy dostępny opcjonalnie)

** Mierzone bez podłoża, mogą obowiązywać ograniczenia w zależności od specyfikacji

Podstawowe cechy powlekacza obrotowego POLOS600 SST
Obudowa wykonana ze stali nierdzewnej
Materiał komory: naturalny polipropylen NPP
Maksymalna wielkość podłoży: 600 mm
Maksymalna ilość programów 30
Ilość kroków 99 kroków/program
Maksymalna prędkość 1500 obr./min
Maksymalne przyspieszenie 1-500 obr./min

 

Maksymalna wielkość podłoży: 900 mm

Podstawowe cechy powlekacza obrotowego POLOS1000 SST
Obudowa wykonana ze stali nierdzewnej lub anodowanego aluminium
Materiał komory: naturalny polipropylen NPP
Maksymalna ilość programów 30
Ilość kroków 99 kroków/program
Maksymalna prędkość 1000 obr./min
Maksymalne przyspieszenie 1-500 obr./min

 

Zestaw wkładek

Uchwyt na strzykawki z centralnym układem dozującym

Do strzykawek pojedynczych lub potrójnych ze zintegrowanym dyfuzorem N2

Płyta antystatyczna

Karbowany wąż spustowy ze złączem

Zestaw startowy strzykawek

Składa się z pięciu cylindrów do dozowania chemikaliów o objętości 30 cm³, igieł i pistonów

Jednostka dozująca

Może być zamontowana w uchwycie strzykawek i podłączona do jednego z 3 programowalnych styków bezpotencjałowych

Narzędzie centrujące

Narzędzie do centrowania podłoży.
Jedno narzędzie przeznaczone do centrowania podłoży o rozmiarach od 2″ do 6″ oraz kwadratowych podłoży do 4×4″

Pompa próżniowa

Uchwyty

  • Fragmenty podłoży
  • Niski kontakt
  • Podłoża kwadratowe Maski, ogniwa słoneczne, itp. – Chipy, płytki, fragmenty itd.
  • Podłoża zwykłe – Szkiełka laboratoryjne etc,
  • Podłoża okrągłe – Uchwyty próżniowe dla podłoży od 2“ do 300 mm
  • Podłoża okrągłe – Uchwyty próżniowe z pinami centrującymi
  • Podłoża okrągłe – Uchwyty mechaniczne z pinami centrującymi

Edge Bead Removal (EBR)

Automatyczna linia dozująca

Zautomatyzowana linia dozująca odczynniki wraz z naczyniem wykonanym z PTFE

MegPie

MegPie stanowi szafirowy przetwornik Megasonic do procesów czyszczenia pojedynczych podłoży

BSR (Back Side Rinse)

Płukanie tylnej ściany podłóż

Wysokociśnieniowy natrysk (high pressure jet)

Podłoża cienkie i delikatne

Folie itp.

Pytanie o produkt

W razie pytań lub wątpliwości prosimy o kierowanie ich do nas za pośrednictwem tego formularza

  • 9 + 39 =