Seria HYBRID

Seria zaawansowanych reaktorów z wybranymi technikami zaimplementowanymi w komorze reakcyjnej.

Plasmionique opracował wraz z grupami badawczymi serię reaktorów hybrydowych łączących dwie lub więcej technologi nanoszenia warstw w tej samej komorze. Techniki mogą być stosowane oddzielnie lub jako sekwencje podczas jednego procesu bez konieczności przerwania próżni.
Seria HYBRID – podstawowe możliwości konfiguracyjne
MODEL SPUTTERING PECVD (ICP) ION SOURCE EVAP. BOATS EFFUSION CELL PLD
HSPT520 X X X
SPT420 X X
EVD400-H X X
SPLD321 X X
Jednym z ciekawych przykładów reaktorów hybrydowych jest system SPT420 umożliwiający syntezę nanorurek węglowych CNT począwszy od czyszczenia powierzchni, nakładanie katalizatora, syntezę nanorurek, modyfikację oraz nakładanie warstw buforowych bez konieczności zapowietrzania komory reakcyjnej (przerywania próżni).

Pytanie o produkt

W razie pytań lub wątpliwości prosimy o kierowanie ich do nas za pośrednictwem tego formularza

  • 1 + 22 =