Seria MAGNION

Seria reaktorów do nanoszenia warstw metodą rozpylania magnetronowego.

Oferujemy konfiguracje w pełni dopasowane do Państwa wymagań aplikacyjnych oraz budżetowych. Powyższe systemy mogą być wyposażone w:

  • Zbalansowane i niezbalansowane źródła magnetronowe okrągłe oraz prostokątne
  • Przesłony oraz kominy zapobiegające kontaminacji
  • Manipulator próbek z możliwością podgrzewania do 800°C
  • Polaryzacja podłoża
  • Manipulator próbek umożliwiający zarówno ruch obrotowy jak i osiowy podłoża pozwalający na osiągnięcie cienkich warstw o bardzo dobrej jednorodności
  • System załadunkowy Load-lock
  • W pełni zautomatyzowany system kontroli i monitorowania warunków prowadzenia procesu
  • Możliwość zainstalowania dodatkowej aparatury pracującej in-situ
  • System zaprojektowany pod aplikacje użytkownika

Pytanie o produkt

W razie pytań lub wątpliwości prosimy o kierowanie ich do nas za pośrednictwem tego formularza

  • 3 + 59 =