Seria PARADIS

Seria reaktorów próżniowych przeznaczonych do nanoszenia warstw polimerowych, w tym parylenu.

Zastosowania systemu są bardzo szerokie poprzez nanoszenie powłok hydrofobowych, dielektrycznych, biokompatybilnych czy też powłok będących barierą dla wilgoci.

Strefy kontrolowane temperaturowo:

  • Odparowanie prekursorów
  • Pyroliza gazów
  • Nanoszenie