Morpher

Zaawansowany system do wysokoprzepustowej produkcji półprzewodnikowej

PICOSUN® Morpher został zaprojektowany do w pełni zautomatyzowanego powlekania serii podłoży półprzewodnikowych w połączeniu ze standardowymi platformami klastrów próżniowych na pojedyncze podłoża. Rewolucyjny, opatentowany mechanizm odwracania serii podłoży półprzewodnikowych umożliwia integrację systemu z istniejącymi liniami produkcyjnymi, w których większość przetwarzania odbywa się w geometrii poziomej, a certyfikat SEMI S2 / S8 zapewnia zgodność systemu z najsurowszymi standardami w branży.

TYPOWE PODŁOŻA:

  • Podłoża 200 mm w seriach 25 sztuk
  • Podłoża 150 mm w seriach 50 sztuk
  • Podłoża 100 mm w seriach 75 sztuk
  • Podłoża porowate, na wskroś porowate i podłoża o wysokim współczynniku HAR  (do 1:2500)
  • Rodzaje podłoży: Si, szkło, kwarc, SiC, GaN, GaAs, LiNbO3, LiTaO3, InP

TEMPERATURA PROCESU I PRZEPUSTOWOŚĆ

  • 50 – 300°C
  • Do 1000 podłoży / 24 h przy nakładaniu warstwy Al2O3  o grubości 15nm

TYPOWE PROCESY

  • Procesy produkcyjne z czasem cyklu poniżej 10 sekund
  • Niejednorodność warstw pomiędzy podłożami w serii <1% 1σ (Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49 pkt, 5mm EE)
  • Tlenki: Al2O3, TiO2, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, ZrO2,
  • Azotki: TiN, AlN
  • Metale: Pt, Ir, Ru

ZAŁADUNEK PODŁOŻY

  • W pełni automatyczny klastrowy załadunek próżniowy z funkcją obracania
  • Automatyczny system załadunku podłoży kaseta do kasety za pomocą próżniowego systemu klastrowego Picoplatform™ 200
  • Opcjonalna stacja SMIF

OPROGRAMOWANIE STERUJĄCE

  • Niezależny edytor receptur umożliwiający tworzenie i modyfikację receptury podczas przebiegu procesu, z dynamiczną strukturą (skalowalny format dla każdej receptury)
  • Ujednolicony interfejs do sterowania całym klastrem za pomocą jednego protokołu komunikacyjnego (Ethercat)
  • Zdalnie dostępny rejestrator danych
  • Możliwość eksportu wszystkich danych
  • Integracja SECS / GEM z hostem fabrycznym

PREKURSORY

  • 12 linii prekursorowych (ciekłe, gazowe, stałe, ozon)
  • 6 niezależnych wlotów do komory
  • Czujniki poziomu prekursorów