atomic layer deposition

Reaktor ALD R-200 Advanced

Reaktor ALD / PEALD

Zaawansowany modułowy reaktor ALD z możliwością prowadzenia procesów wspomaganych plazmą

Reaktor ALD PICOSUN® R-200 advanced to zaawansowany system umożliwiający prowadzenie procesów termicznych oraz procesów wspomaganych plazmą (PE-ALD)

Urządzenie jest przeznaczone do badań i rozwoju w wielu obszarach, takich jak komponenty układów scalonych, urządzenia MEMS, wyświetlacze, diody LED, lasery i obiekty 3D, warstwy optyczne,  ale również do powlekania biżuterii, monet czy implantów medycznych.

GŁÓWNE CECHY:

  • Unikalne rozwiązania zapewniające najwyższą czystość procesu i jednorodność warstw
  • Niezależne wloty prekursorów do komory
  • Uniwersalna komora do wszystkich rodzajów podłoży
  • Jednorodna temperatura w całej objętości komory reakcyjnej
  • Odległe źródło plazmy typu ICP lub mikrofalowej
  • Prosta obsługa za pomocą komputera z ekranem dotykowym

TYPOWE PODŁOŻA:
(Powlekanie wszystkich typów podłoży w jednej uniwersalnej komorze reakcyjnej)

  • Pojedyncze płaskie podłoża o średnicy do 200 mm
  • Ogniwa krzemowe 156 mm x 156 mm
  • Elementy 3D o wysokości powyżej 120 mm
  • Proszki i cząstki
  • Mini serie podłoży 8 x 200 mm
  • Podłoża porowate, na wskroś porowate i podłoża o wysokim współczynniku HAR  (do 1:2500)

TEMPERATURA PROCESU

50 – 500°C, 450°C ze źródłem plazmy (650°C z dodatkowym uchwytem grzewczym), 

TYPOWE PROCESY

  • Tlenki: Al2O3, TiO2, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, ZrO
  • Warstwy domieszkowane: AZO, Er:Al2O3
  • Azotki: TiN, AlN
  • Metale: Pt, Ir, Ru

ZAŁADUNEK PODŁOŻY

  • Winda pneumatyczna (ładowanie ręczne)
  • Komora załadowcza – load lock
  • Półautomatyczny załadunek podłoży za pomocą robota
  • Załadunek kaseta – do – kasety z klastrową platformą załadunkową

PREKURSORY

  • 12 linii prekursorowych (ciekłe, gazowe, stałe, ozon)
  • 7 niezależnych wlotów do komory

OPCJE ROZBUDOWY

  • Wzmacniacz dyfuzji Picoflow™ do powlekania materiałów o wysokim współczynniku HAR, materiałów porowatych i na wskroś porowatych bez ograniczeń co do wielkości, rodzaju podłoża i temperatury procesu
  • Integracja z komorą rękawicową glove-box do załadunku podłoży w atmosferze gazu obojętnego
  • Analizator gazów resztkowych
  • Generator ozonu
  • Generator azotu
  • Zintegrowany elipsometr laserowy
  • Mikrowaga kwarcowa