Układy scalone (IC)

Przemysł produkcji półprzewodników wykorzystuje technologię osadzania warstw atomowych od początku XXI wieku i jest to główny obszar rynkowy Picosun. ALD jest preferowaną technologią wytwarzania różnych układów scalonych na półprzewodnikach krzemowych i materiałach z grupy III-V. Picosun oferuje wiodące rozwiązania ALD dla mikroelektroniki, sygnałów mieszanych, zaawansowanej logiki, nowych typów pamięci i dysków twardych. Systemy ALD firmy Picosun charakteryzują się najniższym kosztem użytkowania w produkcji pojedynczych podłoży i produkcji seryjnej zintegrowanej z w pełni zautomatyzowanymi platformami klastrowymi. Osadzane materiały obejmują zarówno tlenki jako izolatory, warstwy modelujące, pasywacyjne i barierowe dla wilgoci, jak i azotki, węgliki i czyste metale na elektrody, bariery dyfuzyjne, warstwy pośrednie i warstwy pokrywające.