Poziome piece CVD

Poziome piece CVD

Piece poziome CVD mogą być skonfigurowane z jedną lub wieloma strefami grzania. W połączeniu z systemem dostarczania gazów, par i cieczy FLOCON stanowi bardzo elastyczną i uniwersalną platformę do nakładania cienkich warstw a opcja przechylenia pieca ułatwia załadunek i rozładunek proszków

Dodatkowo wyposażenie pieca w źródło plazmy odległej ICP PLUME umożliwia prowadzenie procesów PE-CVD na dużych powierzchniach.