Kompaktowe systemy nablatowe PVD CVD

Kompaktowe systemy nablatowe PVD / CVD

Kompaktowe nablatowe systemy Plasmionique to bardzo elastyczne systemy badawcze, które mogą mieć zintegrowane wszystkie funkcjonalności dużych systemów PVD, PECVD włącznie z automatyzacją procesów, akwizycją danych oraz zdalnym dostępem.

Systemy te mogą być również zintegrowane w komorze rękawicowej glovebox do prowadzenia procesów wrażliwych na tlen i wodę.

Przykładowe możliwości konfiguracji:

PVD:

  • Targety okrągłe 1″ – 3″ przewodzące lub dielektryczne
  • Zbalansowane lub niezbalansowane magnesy
  • Zasilacz RF lub DC
  • Chłodzenie wodne
  • Odparowanie termiczne: łódki rezystywne wysokotemperaturowe, komórki efuzyjne Knudsena
  • Hybrydowe PVD – połączenie źródeł magnetronowych i odparowania termicznego

CVD

  • Reaktor ICP lub CCP
  • RF 13.56 MHz, ciągły lub pulsacyjny
  • Przeznaczenie – procesy PECVD lub procesy trawienia