Osadzanie laserem pulsacyjnym (PLD) GLAZE

Systemy do osadzania laserem pulsacyjnym GLAZE

Seria GLAZE do osadzania wspomaganego laserem pulsacyjnym (Pulsed Laser Deposition – PLD) została zaprojektowana do zaawansowanych zastosowań w zakresie syntezy cienkich warstw. Zaletami metody PLD jest jej prostota i możliwość zachowania często złożonej stechiometrii materiału targetu w nałożonej warstwie.

W metodzie PLD wykorzystuje się energię zogniskowanej wiązki laserowej do odparowania stałego materiału targetu. Czas pulsu w zakresie od femtosekund do nanosekund może służyć do kontroli struktury warstwy.

Opracowana przez Plasmionique hybrydowa metoda magnetron – PLD łączy niskoenergetyczne pulsy laserowe z wyładowaniem magnetronowym. To pozwala na obniżenie ciśnienia procesu, zwiększenie wydajności nakładania i poprawę gęstości i gładkości nałożonej warstwy.

Więcej informacji: kliknij tutaj