Rozpylanie magnetronowe MAGNION

Systemy magnetronowe dostosowane do wymagań klienta

Systemy magnetronowe MAGNION są urządzeniami „pod klucz” dostosowanymi zgodnie z indywidualnymi wymaganiami użytkowników końcowych.

Opatentowane przez Plasmionique katody rozpylające z serii MAGNION zostały zaprojektowane z myślą o wysokiej wydajności zużycia targetów i są dostępne w zbalansowanych i niezbalansowanych konfiguracjach magnetycznych oraz w okrągłych lub prostokątnych kształtach.
Magnetrony w zależności od dostarczonego zasilacza mogą pracować w trybach  DC, pulsed-DC, AC, HIPIMS lub RF.

Systemy mogą być wyposażone w źródło plazmy odległej PLUME do prowadzenia procesów reaktywnego napylania magnetronowego czy aktywacji podłoży.

Zaawansowany stolik na podłoża umożliwia obrót, grzanie, polaryzację czy kontrolowaną komputerowo zmianę nachylenia próbek.

MAGNETRONY

  • Targety okrągłe 1″, 2″,3″, 4″ lub prostokątne
  • Praca w trybie RF, DC, pulsed-DC, HIPIMS
  • Przesłony oraz kominy zabezpieczające przed zanieczyszczeniami krzyżowymi
  • Regulacja nachylenia i położenia magnetronów
  • Możliwość ko-depozycji z kilku magnetronów jednocześnie

PRÓBKI

  • Uchwyty na próbki dostosowane do wymagań użytkownika
  • Grzanie do powyżej 850 ºC 
  • Chłodzenie
  • Zmotoryzowany stolik obrotowy, zmiana kąta nachylenia
  • Polaryzacja RF lub DC
  • Załadunek za pomocą komory załadowczej load-lock

ŚRODOWISKO PROCESU NAKŁADANIA

  • Komora ze stali nierdzewnej o wielkości dostosowanej do wymagań użytkownika z możliwością dodatkowych rozszerzeń w przyszłości
  • Możliwość pracy z tlenem lub gazami korozyjnymi
  • Mierniki próżni: szerokozakresowy miernik i miernik pojemnościowy do kontroli ciśnienia procesowego
  • Zaawansowany system dostarczania gazów procesowych i par FLOCON, zawierający masowe kontrolery przepływu. Możliwość pełnej automatyzacji i zaprogramowania odpowiedniej mieszaniny gazów.
  • Ilość masowych kontrolerów  przepływu wraz z zaworami odcinającymi zgodnie z wymaganiami klienta.
  • Przepłukiwanie i wentylowanie linii gazowych i komory do bezpiecznego otwarcia komory
  • Możliwość zintegrowania mikrowagi kwarcowej i optycznego spektrometru emisyjnego

OPROGRAMOWANIE

  • Czytelne i proste w obsłudze oprogramowanie sterujące
  • Pełna graficzna kontrola nad wszystkimi podzespołami systemu
  • Monitorowanie i zapisywanie warunków procesu
  • Zintegrowane sygnały z mikrowagi kwarcowej i spektrometru emisyjnego
  • Zaawansowane systemy bezpieczeństwa